API激光干涉儀線性定位誤差測量的詳細(xì)資料：

API激光干涉儀線性定位誤差測量

舊的方法：

激光頭安裝在機(jī)床工作臺之外，機(jī)床所受的震動干擾和激光頭的不同，產(chǎn)生測量誤差。特別是在帶有空氣彈簧減震系統(tǒng)的機(jī)器上
三點對光，操作復(fù)雜
依靠電腦上的光強(qiáng)條的強(qiáng)弱來對, 余弦差較大

API XD干涉儀的測量方法:
一次安裝也可同時測量其它五個參數(shù);
可利用電腦中的直線度實時顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測量準(zhǔn)確;
兩點調(diào)光，對光迅速
 

主要特點：

一次安裝能測量6項精度指標(biāo)
包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
兩點調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺時, 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試

5D/6D高精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據(jù)用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. 大范圍：500角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. 大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg